[发明专利]工件表面形貌的扫描方法、扫描系统及存储介质有效
| 申请号： | 202110601244.5 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113358056B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;耿亚鹏;赵燕;陈驰;马砚忠;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 刘志海;郭燕 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种工件表面形貌的扫描方法，包括从初始视场区开始，按照设定的顺序对所有视场区进行聚焦扫描；其中，对于非初始视场区，首先获取与当前待检测非初始视场区相邻的前一个视场区的实际聚焦面位置，然后根据已检测的邻近视场区的实际聚焦面位置得到当前待检测非初始视场区的扫描区间，最后控制测量探头在扫描区间内对非初始视场区进行聚焦扫描，以获取该非初始视场区的聚焦面位置。由于任意一非初始视场区的扫描区间是根据与其邻近的前一个或前几个视场区的实际聚焦面位置来确定的，使得各视场区的扫描区间是动态变化的，既可以使扫描区间更为趋近实际聚焦面位置，又可以压缩扫描范围、节省扫描时间，从而提高扫描速度。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 表面 形貌 扫描 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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