[发明专利]一种微米级矩形波导的制备方法及系统有效
| 申请号： | 202110601433.2 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113285201B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 仇晶;陈险峰 | 申请（专利权）人： | 济南量子技术研究院 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 250101 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微米级矩形波导的制备方法及系统，保持待加工品与水平方向呈倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第一侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第一划槽；将待加工品旋转，使其与水平方向呈倾斜放置，且放置方向与金刚石刀片刀刃第二侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第二划槽，实现两条划槽中间的预留位置形成矩形波导。本发明不需要将微米级铌酸锂薄膜层切透，从而得到侧壁光滑，易加工的矩形波导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微米 矩形波导 制备 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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