[发明专利]一种基于粘滑与冲击原理耦合的压电驱动器控制方法

摘要

本发明提出了一种基于粘滑与冲击原理耦合的压电驱动器及其控制方法，属于精密机械领域。该驱动器包括冲击动子、粘滑定子、导轨滑块、微调平台和底座。所述的冲击动子直接通过冲击惯性原理对滑块输出间歇性的冲击位移；所述的粘滑定子通过柔性机构的圆弧状头部在侧面与滑块相接触，从而推动滑块运动；通过粘滑定子和冲击动子的耦合作用，使滑块产生无回退的线性运动。本发明的优点在于：在同一个信号的驱动下，通过粘滑和冲击耦合作用，抑制了压电驱动器的回退，提高了驱动器整体的输出性能。本发明可用于微/纳米机械测试、光学仪器、精密加工、集成电路封装、生物工程和航空航天技术等领域。