[发明专利]晶圆测试图的显示方法及系统有效
| 申请号： | 202110602519.7 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113359007B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张俊;沈周龙;高国春 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆测试图的显示方法及系统，包括获取晶圆抽样测试后晶圆上若干芯片的属性文件，接着通过一预设算法对所述属性文件进行修正处理，获取所述晶圆上的若干芯片的修正文件，然后根据所述修正文件生成修正晶圆测试图并进行显示。本发明通过修正晶圆上若干芯片的属性文件，减少晶圆上相邻测试芯片之间的距离，弱化未测试芯片的存在感，以增大测试芯片在设定晶圆测试图显示区域内的显示面积，使已测试的芯片在晶圆测试图中突出显示，便于观察。另外，由于集中显示了测试芯片，便于观测测试芯片中失效芯片的整体分布情况。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 显示 方法 系统 | ||
【主权项】：
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