[发明专利]一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法在审
| 申请号： | 202110604017.8 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113359396A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 侯克邦 |
| 地址： | 230051 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及无掩膜光刻，具体涉及一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，将第一时钟输入锁相环，得到具有稳定相位差的第二时钟，对第二时钟进行相位调节，并根据第二时钟的最终相位调节同步脉冲控制信号的输出时间，第二时钟分别向光源、图形发生器发送同步脉冲控制信号，确定图形发生器中的主同步机和副同步机，主同步机向副同步机发送同步数据包，副同步机与主同步机同步进行图形变换；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的无法对光源与图形发生器进行有效同步控制的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光源 图形 发生器 同步 控制 高速 光刻 方法 | ||
【主权项】：
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