[发明专利]一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具在审
| 申请号： | 202110606472.1 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113481482A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 陆张武;黄敏;李恭剑;王迎 | 申请（专利权）人： | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 张海兵 |
| 地址： | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于光学镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜治具，包括用来夹持晶片的治具；治具包含治具上板和治具下板，所述治具上板与所述治具下板可拆卸连接；所述治具下板开设有第一通孔，所述治具上板开设有与所述第一通孔相对应的第二通孔；治具底板，所述治具底板分别与所述治具上板和所述治具下板可拆卸连接。本发明通过治具上板和治具下板的配合来夹持晶片，在对晶片的一侧镀膜完毕后，无需将晶片取出，只要将治具进行翻转与治具底板重新连接即可，方便快捷，大大提高了晶片的镀膜效率，减少了镀膜过程中晶片的损耗。此外，还解决了现有技术中翘曲的问题，以及翘曲导致的碎片问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溅射 镀膜 可翻面 | ||
【主权项】：
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