[发明专利]一种低成本真空镀膜用靶有效
| 申请号： | 202110606892.X | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113293352B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张法亮;单丹丹;张法治 | 申请（专利权）人： | 深圳市千禾盛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坪山街道和平社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低成本真空镀膜用靶，包括由外至内依次套接的靶体管、过渡层和内衬管；靶体管两端设置管接头，可通过管接头与镀膜设备连接；靶体管、过渡层以及内衬管的两端密封连接；内衬管的中空结构形成冷却管路。其中增加了低成本材质作为内衬管，并采用了过渡层结构，有效解决了管靶在使用过程中可能出现的管体真空泄露和无法辨别靶材使用状态的情形，大幅降低了产品的综合成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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