[发明专利]一种光学元件表面粗糙度加工装置有效
| 申请号： | 202110607170.6 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113263391B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郭本银;张海涛;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/005;B24B27/00;B24B55/02;B24B41/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明适用于光学元件加工领域，公开了一种光学元件表面粗糙度加工装置，包括配置有抛光液的存储槽、承载有待加工光学元件的承载组件、用于对待加工光学元件表面粗糙度加工的抛光组件、以及施压组件，抛光组件包括抛光轮和用于驱动抛光轮做回转运动的第一驱动机构，抛光轮的硬度及弹性模量远低于待加工光学元件，施压组件用于给抛光轮施加靠向待加工光学元件的载荷，抛光轮和待加工光学元件均置于抛光液中，在施压组件的作用下，抛光轮与待加工光学元件接触的部位能够产生形变，抛光轮形变处与待加工光学元件之间形成液膜以使抛光轮与待加工光学元件之间为非接触抛光，可以改善光学元件的表面粗糙度，并使得待加工光学元件表面没有亚表面损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 表面 粗糙 加工 装置 | ||
【主权项】：
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