[发明专利]校准OM和SEM坐标关系的方法和装置、设备和存储介质有效
| 申请号： | 202110607323.7 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113379692B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 甘远;薛磊;韩春营;俞宗强;蒋俊海 | 申请（专利权）人： | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/62;G06T7/73;G06V10/74 |
| 代理公司： | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人： | 陈佳妹;朱慧娟 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种校准OM和SEM坐标关系的方法，该校准OM和SEM坐标关系的方法包括读取由同一标准片中选取的同一标记点在工作台上的位置和标记图案，在OM模式下获取OM图像，根据OM标记图案和OM图像得到第一标记点偏移量，在SEM模式下获取SEM图像，SEM图像为控制工作台移动至第二位置处后拍照得到的图像，根据SEM标记图案和SEM图像得到第二标记点偏移量，通过第一标记点偏移量和第二标记点偏移量得到OM和SEM坐标关系。这样针对半导体制造过程中电子束检测与特征尺寸测量之前的校准过程进行了自动化处理，该方法不仅排除了人为因素以及环境因素（温度等）的影响，还提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 om sem 坐标 关系 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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