[发明专利]膜厚修正板及光学直接监控镀膜设备在审
| 申请号： | 202110609142.8 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113512712A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 范心怡;范卫星 | 申请（专利权）人： | 东莞隆润光学技术有限公司;范心怡 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/30;C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 孙玲 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种膜厚修正板，其上开设有至少一个暴露孔，用于暴露玻璃基板的边缘部分，膜厚修正板的非暴露孔部分能够在玻璃基板的径向方向上，将玻璃基板全部遮挡，暴露的边缘部分能够进行中心直接监控，以减小光学薄膜滤光片的中心波长变化。同时，本发明提出一种包含上述膜厚修正板的光学直接监控镀膜设备，通过将旋转轴设置在偏离真空室中心轴的部位、将光学直接监控点设定在真空室中心轴部位，同时辅以具有暴露孔的膜厚修正板，可以使同一玻璃基板上同时具有中心直接监控和边缘直接监控的特点，既能保证薄膜光学滤光片的高产出率，降低生产成本，又能确保光学薄膜滤光片中心波长分布的一致性，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 修正 光学 直接 监控 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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