[发明专利]磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法及其制备的靶材在审
| 申请号： | 202110611250.9 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113186503A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 周昭宇;周志宏 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，以及通过该方法制备的旋转靶材。该冷绑定制备方法将多个弹性簧片分别装在背管外壁的多个卡槽内，弹性簧片凸出于卡槽外，再将靶管套装到装有弹性簧片的背管上，该状态下所述弹性簧片同时弹性抵紧靶管内壁和背管外壁以使靶管稳固地装到背管上。该冷绑定制备方法制成的靶材利用导电导热性良好的弹性簧片通过物理连接的方式将旋转靶材的背管和靶管安装在一起，弹性簧片与两者的接触面积大，旋转靶材整体具有良好的导电传热性能，并且，绑定时无需加热避免灼伤风险。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 旋转 绑定 制备 方法 及其 | ||
【主权项】：
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