[发明专利]电子束诱导石墨烯纳米条带原位生长制造方法有效
| 申请号： | 202110611308.X | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113321206B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 毕开西;付文潇;穆继亮;丑修建;耿文平;梅林玉;周思源;牛耀楷;薛刚;何锦龙;赵彩钦 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;曹一杰 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于新型碳材料微纳制造领域，涉及聚焦电子束高分辨图形加工、碳基新材料元素结构分析、微纳结构形貌观测等方面。本发明提供了一种电子束诱导石墨烯纳米条带原位生长制造技术，即，使用高能电子束（30μm光阑、30kV牵引电压、280 pA电子束流）对铜基底表面有机高分子薄膜进行辐照以获得石墨烯的方法。一方面，电子束与有机分子碰撞过程中会驱动碳原子重新排布形成石墨烯晶体结构，且电子束1~3nm尺寸光斑有助于高分辨石墨烯结构的制备；另一方面，电子束轰击有机高分子薄膜将在局部产生数百度高温，铜金属在高温环境下会对有机高分子中的碳原子产生解析作用，电子束真空曝光系统有助于铜基底对石墨烯的高温催化作用，提升石墨烯纳米条带品质。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 诱导 石墨 纳米 条带 原位 生长 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110611308.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：连接线吸取顶出机构
- 下一篇：改造步梯装电梯的方法
