[发明专利]保持装置、光刻装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202110611760.6 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113759667A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木健士 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供保持装置、光刻装置以及物品制造方法。保持装置保持物体，其特征在于，保持装置具有：吸附部，用于真空吸附物体；多个生成部，分别与连接于吸附部的多个第1管路对应地设置，生成经由多个第1管路向吸附部供给的真空空气；泵，经由分别与多个生成部连接的多个第2管路向多个生成部供给压缩空气；第3管路，包括分别与多个第2管路连接的多个连接管路和汇集多个连接管路的汇集管路；控制阀，设置于汇集管路，通过开闭汇集管路而经由多个连接管路控制多个第2管路的大气释放；以及多个止回阀，分别设置于多个连接管路，抑制存在于多个第2管路之中的一个管路的压缩空气经由第3管路流入多个第2管路之中的其他管路。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 光刻 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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