[发明专利]边缘位置检测装置和边缘位置检测方法在审
| 申请号： | 202110614095.6 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113752399A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 小松淳 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供边缘位置检测装置和边缘位置检测方法，提高被加工物的边缘的位置的检测精度。对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测的边缘位置检测装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；激光位移计，其具有照射单元和受光单元，该照射单元包含配置在卡盘工作台上方的光源，以横贯被加工物的边缘的方式照射线状激光束，该受光单元包含沿着线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列并分别接受线状激光束的反射光的多个光电转换元件；移动机构，其使激光位移计和卡盘工作台沿着照射区域的长度方向相对地移动；和计算单元，其具有处理器，根据由受光单元取得的受光量的变化的信息计算被加工物的边缘的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 位置 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110614095.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
