[发明专利]粗糙面到光滑表面的反射率谱数值退化方法、系统、介质有效
| 申请号： | 202110616467.9 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113340842B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 牟媛;盛新庆;吴比翼;郭琨毅 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581;G01N21/3563;G01N21/47;G01N21/55 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理有限公司 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 100000 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于粗糙表面反射率谱的应用技术领域，公开了一种粗糙面到光滑表面的反射率谱数值退化方法、系统、介质，测量粗糙样片的反射率谱，结合遗传算法反演粗糙样片表面粗糙度随波长的变化曲线，并采用四次多项式对粗糙度‑波长曲线进行拟合；将拟合后的粗糙度谱代入粗糙面菲涅尔反射率的基尔霍夫表达式中，求解光滑表面的反射率谱。并采用Lorentz函数对求解的光滑面反射率谱进行拟合修正，最终结果与抛光样本的反射率谱吻合。本发明适用于光滑表面反射率谱无法直接试验测量的材料。该方法可通过数值方法获得光滑表面反射率谱，为Kramers‑Kronig关系、振子模型等提取材料光学常数的理论提供基础支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 粗糙 光滑 表面 反射率 数值 退化 方法 系统 介质 | ||
【主权项】：
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