[发明专利]具有双铰链结构的微机电系统器件在审
| 申请号： | 202110618586.8 | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN113816333A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | W.金;M.莫拉迪;G.威尔斯;S.巴格纳尔德 | 申请（专利权）人： | 朗美通经营有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王增强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)器件可以包括第一层，其包括定子梳状致动器；第二层，其包括转子梳状致动器；包括反射镜的反射镜结构；以及第一组铰链和第二组铰链，该第一组铰链和第二组铰链被配置为基于由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的驱动扭矩，使反射镜结构围绕微机电系统器件的第一轴线倾斜。第一组铰链可以被配置成抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的在与第一轴线相关联的方向上在反射镜结构上的横向线性力。第二组铰链可以被配置为抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的围绕微机电系统器件的第二轴线在反射镜结构上的平面内扭矩。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 铰链 结构 微机 系统 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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