[发明专利]一种热压法制备多层介电薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种热压法制备多层介电薄膜的方法，包括以下步骤：首先对填充的纳米钛酸钡（BaTiO3,BT）颗粒进行表面功能化，提高无机材料与有机材料的兼容性；将包覆的纳米BT颗粒均匀分散在N‑N二甲基甲酰胺（DMF）溶液中，并与聚偏氟乙烯（PVDF）配制成前驱体溶液，通过溶液铸膜法制备单层膜；将单层膜叠加热压制备多层膜，从而减小薄膜内部的缺陷，提高薄膜结构的致密性。与其他技术比，本发明解决了薄膜的均匀性差、介电常数离散度大的问题，且工艺简单，易于规模化生产，制备的薄膜具有优良的介电性能及均匀性，可应用在柔性电子领域。