[发明专利]激光偏振合束测量装置有效

专利信息
申请号: 202110621728.6 申请日: 2021-06-03
公开(公告)号: CN113310670B 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 郭广妍;麻云凤;程旺;白芳;赵鹏;宫学程;廖丽芬;张思楠;殷晨轩;林蔚然;樊仲维 申请(专利权)人: 中国科学院空天信息创新研究院
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周天宇
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种激光偏振合束测量装置,包括第一光源(LS1)、第二光源(LS2)、第一半波片(HW1)、第二半波片(HW2)、第一检偏器(P1)、第二检偏器(P2)、第一反射镜(RM1)、第二反射镜(RM2)、第三反射镜(RM3)、第四反射镜(RM4)、第五反射镜(RM5)、第六反射镜(RM6)、第一光束调节模块(LA1)、第二光束调节模块(LA2)、偏振合束镜(BC)、取样镜(SP)、第一检测器(PD1)和第二检测器(PD2)。本发明利用光束调节模块实现合束前单激光束的光斑尺寸与发散角的一致性调节,利用合束后激光近场和远场光斑同时监测的方式,保证高精度合束效果。
搜索关键词: 激光 偏振 测量 装置
【主权项】:
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