[发明专利]一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110625158.8 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113402261B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陈明飞;刘永成;郭梓旋;徐胜利;王志杰;江长久;陈明高 | 申请（专利权）人： | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/35;H01L51/52 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用，该前驱体包括以下组分：氧化铟和氧化锌；所述氧化铟和所述氧化锌的质量比为1:0.05～0.2；所述IZO靶材前驱体的比表面积在5m |
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| 搜索关键词： | 一种 izo 前驱 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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