[发明专利]一种光纤探针及其组装方法在审
| 申请号： | 202110627448.6 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113376405A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;李少博;王飞;程碧瑶;张国锋 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/22 | 分类号： | G01Q60/22;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤探针及其组装方法，该光纤探针包括锥形光纤探针和一维纳米材料，一维纳米材料的一端通过金属层与锥形光纤探针的尖端连接，锥形光纤探针和一维纳米材料同轴，所述一维纳米材料采用纳米线或纳米管，长径比≥10：1。组装方法包括如下过程：将锥形光纤探针的尖端和一维纳米材料的一端接触；在锥形光纤探针和一维纳米材料的接触部位，利用电子束沉积的方法诱导沉积一层金属，沉积的金属层将一维纳米材料固定在锥形光纤探针的尖端位置；对沉积的金属层利用微纳加工方法进行修饰加工，得到所述光纤探针。本发明中，探针表面未受到破坏、表面光滑，能够避免现有技术中由于组装光纤探针时探针表面受到破坏、表面粗糙带来的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 探针 及其 组装 方法 | ||
【主权项】：
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