[发明专利]辅助测量电路、测量电路及半导体器件电信号测量方法有效
| 申请号： | 202110628805.0 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113406467B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 栾越;林鸿旸;罗文奇 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018 | 代理人： | 刘莹;聂国斌 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种辅助测量电路及半导体器件电信号测量方法，辅助测量电路包括：待测电信号的输入端；连接至测量单元的第一电信号通道；以及超量程测量模块。超量程测量模块连接于待测电信号的输入端与第一电信号通道之间，并包括：校准系数确定单元，包括输入校准电信号的第二电信号通道和第一开关；以及连接至第一电信号通道的超量程单元，第一开关被配置为将超量程单元选择性地连接至待测电信号的输入端或第二电信号通道，以通过超量程单元减小待测电信号或校准电信号。本申请提供的辅助测量电路结构可在半导体器件电性能测量中实现对电信号超量程且精确的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 测量 电路 半导体器件 电信号 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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