[发明专利]多孔金属及其制备方法和制造设备有效
| 申请号： | 202110631300.X | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113355647B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 黄佳伟;张刚;张帆;徐飞飞;胡磊;贾泽峰;仲勇;房雷 | 申请（专利权）人： | 江苏中天科技股份有限公司;中天超容科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/58;C23C14/32 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 关雅慧 |
| 地址： | 226463 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种多孔金属及其制备方法和制造设备。多孔金属制备方法包括：准备指定孔隙率的基材，基材移送至第一镀膜室，对基材进行一级真空镀膜，在基材的表面沉积多孔基层，形成第一过程产品；第一过程产品移送至第二镀膜室，对第一过程产品进行二级真空镀膜，在多孔基层表面沉积多孔加强层，烧除基材，形成第二过程产品；第二过程产品移送至第三镀膜室，对第二过程产品进行三级真空镀膜，在多孔加强层的表面沉积一层多孔覆盖层，形成多孔金属产品。上述多孔金属制备方法通过在多孔基材进行多次真空镀膜，并在真空镀膜过程中烧除基材，保证了成品孔隙率及孔径分布，降低了单位制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 金属 及其 制备 方法 制造 设备 | ||
【主权项】：
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