[发明专利]多功能高分辨透射光栅X射线谱仪在审
| 申请号： | 202110632692.1 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113433151A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王浩;蒋康男;柯林佟;冯珂;栾仕霞;王文涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种多功能高分辨透射光栅X射线谱仪，在真空室的前法兰至后法兰之间依次设置前光阑组件、滤膜组件、X射线晶体准直管组件、多功能透射光栅组件和后光阑组件，在所述的后光阑组件后是X射线CCD。该谱仪测量的波长范围为1nm‑1μm(1.2eV‑1.2keV)，测量波长精度最高为0.1nm。本发明通过晶体准直管对X射线的准直和聚焦，解决了目前其他透射光栅谱仪分辨率低和对X射线强度要求较高的缺点，通过多功能透射光栅组件的平动控制实现了多功能测量，既可利用透射光栅测量X射线光谱，又可以直接测量X射线的空间分布，还可以在多功能透射光栅组件中的样品台上放置样品实现X射线对样品的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 分辨 透射 光栅 射线 | ||
【主权项】：
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