[发明专利]一种3D-MEMS探针的制造方法在审
| 申请号： | 202110632967.1 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113562686A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 施元军 | 申请（专利权）人： | 苏州韬盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 闫露露 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种3D‑MEMS探针的制造方法，具体包括如下步骤：在衬底上溅射一层种子层；旋涂负的或者正的光刻胶；利用光刻机对产品进行曝光并显影；利用电镀的方法生长高强度金属；去除相关的光刻胶；利用电镀在高强度金属和暴露的种子层上生长出金属层；利用研磨机器将金属层研磨至高强度金属的厚度；重复生长完成后最终利用湿法去除所述种子层和所述金属层，将3D结构探针从衬底上面剥离后，收集并清洗。本发明利用MEMS加工技术，混合电镀研磨技术，生产制造3D探针，并使用湿法腐蚀方法来剥离生产制造出的产品，制备工艺简单，实现了MEMS加工技术在3D探针产品制备的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 探针 制造 方法 | ||
【主权项】：
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