[发明专利]一种采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法有效
| 申请号： | 202110637036.0 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113391396B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江 | 申请（专利权）人： | 浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种在玻璃基片背面采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法。包括：将玻璃基片置于含K |
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| 搜索关键词： | 一种 采用 阻挡 提高 玻璃 波导 对称性 方法 | ||
【主权项】：
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