[发明专利]光谱共焦法实现GRIN透镜厚度的测量方法及测量系统有效

专利信息
申请号: 202110641467.4 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113375572B 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 李春艳;李庚鹏;刘继红;乔琳 申请(专利权)人: 西安邮电大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 郑丽红
地址: 710121 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种光谱共焦法实现GRIN透镜厚度的测量方法及测量系统,解决现有方法对GRIN透镜厚度测量不准确的问题。本发明为实现径向GRIN透镜基于光谱共焦法的厚度测量,依据光谱共焦法的色散原理,结合径向GRIN透镜的光线传播特性,建立了光谱共焦法的径向GRIN透镜测厚模型,基于光谱共焦法得到透镜上下表面空气中的焦点位置的差值,利用梯度折射率以及焦点位置的差值h0与透镜厚度H的函数关系,解算径向GRIN透镜的厚度H,实现径向GRIN透镜基于光谱共焦法的厚度测量。
搜索关键词: 光谱 共焦法 实现 grin 透镜 厚度 测量方法 测量 系统
【主权项】:
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