[发明专利]收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法在审
| 申请号： | 202110643230.X | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113823547A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 网仓纪彦;北正知 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够减少所占空间的收纳装置、基片处理系统和消耗部件的输送方法。收纳装置包括载置台、传感器、旋转部、收纳部和升降部。载置台载置消耗部件。传感器检测消耗部件的方向。旋转部基于由传感器检测出的消耗部件的方向，使消耗部件向规定的方向旋转。收纳部位于载置台的下部，收纳消耗部件。升降部使收纳部升降。 | ||
| 搜索关键词： | 收纳 装置 处理 系统 消耗 部件 输送 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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