[发明专利]标记位置设定方法及装置有效
申请号: | 202110643901.2 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN113408120B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 刘烨凯;王梦亚;赵鹏;程全 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06F30/10;G06F111/04 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 黄舒悦 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种标记位置设定方法及装置,该标记位置设定方法包括:根据成膜区位置参数在预设基板上确定第一候选标记区域,并根据占据物位置参数在第一候选标记区域内确定第二候选标记区域,并基于坐标约束参数在第二候选标记区域内确定标记位置参数,根据标记位置参数确定标记的设定位置。本申请根据成膜区位置参数和占据物位置参数确定候选标记区域,并根据坐标约束参数在候选标记区域内确定标记设定位置,该方法便于通过自动化进行标记位置的设定,有利于提升设计掩膜板标记的准确性,并有利于降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 标记 位置 设定 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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