[发明专利]一种光纤端面集成微纳结构的加工方法有效
| 申请号： | 202110645730.7 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113416006B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 仇旻;王纪永;张磊;贾倩楠;陈博取 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | C03C25/68 | 分类号： | C03C25/68;C03C25/12;C03C25/104 |
| 代理公司： | 河南大象律师事务所 41129 | 代理人： | 吴素华 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于一种光纤端面集成微纳结构的加工方法，包括步骤：将待加工光纤安放到光纤适配器上，获得待加工件；通过刻蚀载纤装置将待加工件固定到刻蚀装置处，通过刻蚀装置对待加工光纤进行刻蚀加工；通过镀膜载纤装置将待加工光纤固定到镀膜装置处，通过镀膜装置对待加工光纤进行镀膜加工；对待加工光纤进行刻蚀加工、镀膜加工或镀膜加工、刻蚀加工，获得具有集成微纳结构的功能光纤。本时发明克服了传统的电子束、离子束刻蚀工艺只能在大面积平面衬底加工微纳结构的局限性，为在光纤端面集成图案复杂、尺寸精确的微纳结构提供了一种高效、通用的加工方式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 端面 集成 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
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