[发明专利]一种超小模体积回音壁模式微腔器件有效
| 申请号： | 202110645824.4 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113594850B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈波;刘卓俊;李学诗;黄培年;刘进 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/065 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王锦霞 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学元件的技术领域，更具体地，涉及一种超小模体积回音壁模式微腔器件，包括用于产生回音壁模式的微盘腔以及用于抑制微盘腔弯曲损耗的同心环，若干所述同心环设于所述微盘腔的外周且若干所述同心环与所述微盘腔同心设置。本发明的超小模体积回音壁模式微腔器件，利用微盘腔周围的同心环抑制了亚波长尺寸的微盘腔所带来的弯曲损耗，提高品质因子；且本发明的微腔器件包括微盘腔和同心环，制作简单，可在芯片集成方面具有广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超小模 体积 回音壁 模式 器件 | ||
【主权项】：
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