[发明专利]一种旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110646193.8 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113463043B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 沈文兴;白平平;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;B22D19/00;B22D27/04;B22D27/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种旋转靶材的制备方法，涉及靶材制备领域。本发明所述一种旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：(1)将背管放入涂有脱模剂的模具中，密封后将模具放入到炉膛中，排除空气后对炉膛进行加热保温；(2)将金属锭子加热熔化后，沿着模具上的浇注口管道注入到模具中，保温一段时间后，关闭加热电源，冷却至金属熔点以下20‑30℃，依次自下而上冷却，直至完全冷却至室温；(3)打开模具，将靶材取出后进行加工，得到所述旋转靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110646193.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种耳鼻咽喉科的异物取出辅助设备
- 下一篇：一种公交车专业清洗设备
- 同类专利
- 专利分类
