[发明专利]一种利用双金属催化剂制备纤锌矿结构硅纳米线的方法有效

专利信息
申请号: 202110647681.0 申请日: 2021-06-10
公开(公告)号: CN113443631B 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 李东升;范琳琳;杨德仁 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C01B33/027 分类号: C01B33/027;C01B33/113;B82Y40/00;B82Y30/00
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 高佳逸;胡红娟
地址: 310013 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种利用双金属催化剂制备纤锌矿结构硅纳米线的方法,包括步骤:(1)以干净的硅片为衬底,采用真空热蒸发镀膜方法在衬底上蒸镀两种金属催化剂,形成厚度为2~10nm的双金属催化剂;两种金属催化剂为铝和金、铝和锡、或铝和铟;(2)惰性气体环境中,将步骤(1)蒸镀后的衬底加热至其上的双金属催化剂熔融产生液相,SiO蒸气在惰性气体的运输下在加热的衬底上持续反应沉积形成纤锌矿结构硅纳米线。本发明通过热蒸发低毒性的SiO得到了六方纤锌矿结构硅纳米线,简化了制备流程、降低了制备成本。
搜索关键词: 一种 利用 双金属 催化剂 制备 锌矿 结构 纳米 方法
【主权项】:
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