[发明专利]一种微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法

摘要

本发明属于传感器技术领域，涉及到一种微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法。其具体步骤为：选取配方为(Fe0.82Co0.18)x‑(Tb0.4Mn0.6)y‑Ga(1‑x‑y)，0.40≤x≤0.75，0.20≤y≤0.5，0.05≤1‑x‑y；按摩尔比称取原料混匀，置于电弧熔炼炉的坩锅内熔炼；真空条件下，然后放入到高温炉中加热，然后施加磁场，保温，再慢慢降温，撤去磁场，自然冷却到室温，取出合金样品；再在低温炉中退火，然后缓慢冷却到室温，热轧处理，打磨，再热处理。与现有技术相比，本发明所述的微型位移传感器敏感元件波导丝的制备方法制得波导丝的力学性能好，磁致伸缩系数、磁机械耦合系数相对较高，且涡流损耗低的磁致伸缩材料，致使波导丝产生的回波信号强、损耗少。