[发明专利]一种侧向耦合光电探测器

摘要

本发明公开一种侧向耦合光电探测器，包括衬底层、波导层、吸收层和电极层。波导层设置在衬底层之上，波导层的上表面设置多条平行且等距的方形沟槽，每两条沟槽之间形成方形凸起的波导柱，沟槽的宽度等于波导柱的宽度，波导柱的宽度匹配一个或多个耦合周期。重复的沟槽和波导柱形成楔形结构。吸收层设置在波导层之上，临近于楔形结构的一侧。吸收层和波导层之间形成异质结。吸收层构造成在光入射时产生载流子。本发明的硅基锗探测器，光入射方向垂直于波导柱方向，光在波导柱侧面耦合，侧向耦合避免了光场在传输方向上锗吸收层周期性分布的问题，有效减弱了载流子浓度强弱的交替分布，进而减弱了载流子屏蔽效应，提升了器件的带宽和响应度。