[发明专利]α粒子发射率测试方法在审
| 申请号： | 202110654904.6 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113568031A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张战刚;陈资文;雷志锋;黄云;罗俊洋;彭超;何玉娟;肖庆中;李键坷;路国光 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01T1/36 | 分类号： | G01T1/36 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭凤杰 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子器件可靠性技术领域，公开了一种α粒子发射率测试方法，包括获取测试样品；对测试设备的背底噪声进行调试，使得测试设备的α粒子发射率小于设定值；利用完成调试的测试设备对测试样品进行α粒子发射率测试，并对测试到的α粒子进行计数；当α粒子的计数达到目标计数时结束测试，并获取测试数据；对测试数据进行分析和处理。通过在对测试过程前通过背底噪声调试来降低环境噪声和设备自身发射α粒子本底对测试结果的影响，在测试完成后通过数据分析来进一步确定超低本底电子材料的测试样品的实际α粒子发射率。利用上述α粒子发射率测试方法可以实现对超低本底电子材料的测试样品α粒子发射率、能谱的准确测量，提高试验准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 发射 测试 方法 | ||
【主权项】：
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