[发明专利]一种氮化镓单晶材料、其制备方法及应用有效

专利信息
申请号: 202110655180.7 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113308741B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 陈晨龙;王俪霖;苗雨;李俊谕;孙姝婧 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所;闽都创新实验室
主分类号: C30B29/40 分类号: C30B29/40;C30B25/00
代理公司: 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 代理人: 杨晓云
地址: 350002 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 本申请公开了一种氮化镓单晶材料及其制备方法、应用,所述氮化镓单晶材料为相互交联的氮化镓单晶纳米片,所述交联处为单晶结。本申请通过化学气相沉积方法在覆盖有金属A层的镓酸锂衬底上生长氮化镓纳米片,制备的高质量氮化镓纳米片在镓酸锂衬底上沿两个方向倾斜排列且纳米片之间通过单晶结互相交联,实现了一维纳米片之间的载流子传输。
搜索关键词: 一种 氮化 镓单晶 材料 制备 方法 应用
【主权项】:
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