[发明专利]一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台在审
| 申请号： | 202110657808.7 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115476266A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 高军鹏;康宏刚;李世杰;张立文 | 申请（专利权）人： | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B55/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED与基板激光剥离前研磨清洗防水平台，包括研磨载台及FPC防水组件，其中，上述研磨载台水平设置；上述FPC防水组件设置在研磨载台的一侧；研磨载台上放置有待研磨的OLED基板，连接于OLED基板一侧的FPC延伸至FPC防水组件内，经FPC防水组件支撑；FPC防水组件将FPC覆盖保护，且通过并列设置于研磨载台与FPC防水组件之间的两排气孔吹出高压气体，形成内侧的斜风幕及外侧的直风幕，以阻隔研磨载台与FPC防水组件之间的空间，防止OLED基板在研磨载台上研磨时的物质进入FPC内。本发明通过翻转覆盖保护及双层风幕阻断功能有效地实现了研磨时FPC的保护隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 激光 剥离 研磨 清洗 防水 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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