[发明专利]一种OLED与基板激光剥离前清洗机及其清洗工艺在审
申请号: | 202110657817.6 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN115476269A | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 高军鹏;李世杰;康宏刚;张立文 | 申请(专利权)人: | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B37/30;B24B37/10;B24B27/00;B24B55/00;B08B3/02;B08B11/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种OLED与基板激光剥离前清洗机及其清洗工艺,包括接料机构、中转平台、中转搬臂、研磨平台、研磨机构、二流体及风干机构和下料机构,接料机构设置于机台的前端,中转平台间隔设置于接料机构的侧部;研磨平台水平设置在机台上;研磨机构跨设在研磨平台上方,研磨机构对应双研磨通道分别设有研磨盘组件;中转搬臂跨设在接料机构与中转平台之间;二流体及风干机构包括二组,分别设置在研磨平台的两研磨通道的侧部;下料机构设置在机台的后端。本发明将研磨效率提升12‑16倍,且换线灵活适应不同产能要求,通过翻转覆盖保护及双层风幕阻断功能有效地实现了研磨时FPC的保护隔离,同时采用二流体混合喷淋及风干技术,进一步提升了研磨洁净度。 | ||
搜索关键词: | 一种 oled 激光 剥离 清洗 及其 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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