[发明专利]冷冻电镜样品智能化制备系统、方法、电子设备有效
申请号: | 202110658431.7 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113252717B | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 杜忠明;杨继进;董文杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
主分类号: | G01N23/2202 | 分类号: | G01N23/2202 |
代理公司: | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人: | 郭文浩;尹文会 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于扫描电镜技术领域,具体涉及一种冷冻电镜样品智能化制备系统、方法、电子设备,旨在解决现有的冷冻电镜样品制备装置截面质量差、位置精度低的问题;系统包括总控中心、超低温液体池、用于对待加工样品限位的样品保持机构、用于切割/抛光样品的样品加工机构、位置调节机构以及用于转移加工完成样品的样品转移机构;在工作过程中,总控中心基于目标样品类型控制超低温液体池提供预设温度环境,基于样品保持机构在第一腔室中的位置信息启动位置调节机构以带动样品加工机构按照预设加工路线进行加工,基于转移至第二腔室中的加工完成的样品信息启动样品转移机构进行预设环境的转移;通过本发明可实现高质量、高精度的冷冻电镜样品制备。 | ||
搜索关键词: | 冷冻 样品 智能化 制备 系统 方法 电子设备 | ||
【主权项】:
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