[发明专利]一种运输线和托条式运输装置

摘要

本发明公开了一种运输线和托条式运输装置。该托条式运输装置包括用以设于上料装置和带式下料装置之间的运输托条；运输托条具有多个用以与带式下料装置的运输带面同向延伸且交错分布的栅条；运输托条连接有用以在上料装置和带式下料装置之间带动运输托条自运输带面上方向运输带面下方移动的驱动设备。该托条式运输装置可用于运输晶圆板等对产品品质要求较高的待运输工件，能够避免晶圆板与该托条式运输装置及其下游设备的摩擦，避免晶圆板在运输过程中造成磨损、产生粉尘、脱离预设运输方向等问题。