[发明专利]一种载板传送装置有效

专利信息
申请号: 202110661268.X 申请日: 2021-06-15
公开(公告)号: CN113394147B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 谢建;罗文杰;刘永才 申请(专利权)人: 深圳市创一智能装备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 陈宇;张颖玲
地址: 518104 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种载板传送装置,包括传输机构和驱动装置,载板开设多个间隔设置的台阶槽,传输机构在载板传送的方向间隔设置,驱动装置带动传输机构转动以传送载板,相邻的两个传输机构用于设置在载板上的同一个台阶槽的两侧,且相邻的传输机构之间的间距可调。载板以镂空的方式承载硅片,即硅片搭设在台阶槽的两侧,在硅片尺寸变化的情况下,载板中的台阶槽尺寸相应发生变化,本发明实施例由于相邻传输机构的间距可调,使得传输机构能调节为始终位于台阶槽的两侧并与载板接触,从而能够运送承载不同尺寸的载板,提高了载板传送装置对不同尺寸硅片的适应性,进而提高了太阳能电池的生产效率。
搜索关键词: 一种 传送 装置
【主权项】:
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