[发明专利]一种超净高纯过氧化氢的生产工艺有效
| 申请号： | 202110664604.6 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113636526B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B15/013 | 分类号： | C01B15/013 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 曹键 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超净高纯过氧化氢的生产工艺，涉及化工技术领域，包括以下步骤：(1)将工业过氧化氢进行氧化处理，得到氧化处理过氧化氢，氧化处理依次分为惰性气体的排出和氧化剂的氧化；(2)将上述得到的氧化处理过氧化氢采用交换树脂进行过滤处理，得到树脂过滤过氧化氢；(3)再将树脂过滤过氧化氢采用过滤膜进行微过滤处理，过滤得到的滤液即为高纯过氧化氢；通过本发明工艺对工业过氧化氢进行处理，能够大幅度的提高工业过氧化氢的纯度，从而使得其能够更好的应用于半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，效果显著，提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净高 过氧化氢 生产工艺 | ||
【主权项】：
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