[发明专利]一种基于石英晶体微天平的湿度传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202110665912.0 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113390748A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 黄显核;陈桥 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;G01N29/02;B05D7/24;B05D7/00;B05D5/00;B05D3/00 |
| 代理公司： | 四川鼎韬律师事务所 51332 | 代理人： | 温利平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石英晶体微天平的湿度传感器及制备方法，包括QCM换能器和其电极表面涂覆有木质素的湿敏薄膜。制备方法的具体步骤是清洗使QCM换能器，用乙醇/水混合溶剂、1.5wt％的浓硫酸与稻秆粉末在反应釜中混合，在180℃搅拌3小时，然后洗涤、干燥得到木质素；然后将木质素在超声的帮助下均匀的分散在乙醇中得到均匀的敏感材料分散液；然后涂覆在石英晶体微天平的电极表面，干燥6‑8小时，制备为涂覆有木质素的湿度传感器。本发明基于石英晶体微天平的湿度传感器不但有灵敏度高、响应/恢复时间快、重复性好、湿滞低等优点，而且具有制造方法简单、成本低廉、敏感材料可降解等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石英 晶体 天平 湿度 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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