[发明专利]一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列装置及检测方法有效
| 申请号： | 202110675040.6 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113465488B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 刘莉;刘帅;顾汉洋;张琦;应秉斌 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海核工程研究设计院有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列检测装置，所述装置包括：薄膜式电路基板；所述薄膜式电路基板的前表面设置有N行感应叉指电极，N为不小于2的整数；所述薄膜式电路基板的前表面设置有M列激励叉指电极，所述M列激励叉指电极与所述N行感应叉指电极交叉设置，M为不小于2的整数；每两行相邻所述感应叉指电极设置有屏蔽叉指电极；其中，每两列所述激励叉指电极，以及每两行所述感应叉指电极之间并联设置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 壁面液膜 厚度 阵列 装置 检测 方法 | ||
【主权项】：
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