[发明专利]一种微电子机械系统MEMS加速度计在审
| 申请号： | 202110675416.3 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113387320A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王福杰;秦毅;郭芳;任斌;姜鸣;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括底板和MSME加速度计本体，所述MSME加速度计本体设置于底板的上端，所述底板的上端设有壳体，所述壳体的下端与底板靠近左右两侧的上端活动卡接。本发明通过将壳体置于底板上，使得两块固定块分别插设于腔室内，并由压力弹簧带动勾型卡块插设于限位卡槽内，有效对壳体进行卡接固定，方便进行拆装，通过将电磁屏蔽片插设于若干橡胶制品的限位片之间，使得电磁屏蔽片对MSME加速度计本体提供有效电磁屏蔽，通过将防尘软片插设于矩形开口上的条形插槽内，有效对防尘软片进行限位固定，使得防尘软片配合接线通孔内的扇形挡尘片和矩形环状垫圈对壳体内的MSME加速度计本体提供有效防尘防护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 机械 系统 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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