[发明专利]双向阈值对称的选通器及其制备方法有效
申请号: | 202110677821.9 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113517402B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 王晨;张卫;黄阳;唐灵芝 | 申请(专利权)人: | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
主分类号: | H01L51/10 | 分类号: | H01L51/10;H01L51/30;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 黄海霞 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了双向阈值对称的选通器,所述双向阈值对称的选通器包括衬底、第一银电极、阻变层和第二银电极,阻变层的组成材料为有机无机杂化钙钛矿,选通器采用了平面对称的双电极结构,在电压刺激下,保证了选通器的第一银电极和第二银电极均能够提供足够的银源,有利于获得双向阈值对称的选通特性,结构简单。本发明还提供了所述双向阈值对称的选通器的制备方法,包括通过真空热蒸发工艺,在衬底的顶面上沉积第一银电极和第二银电极,通过紫外臭氧设备处理沉积有第一银电极和第二银电极的衬底,配制有机无机杂化钙钛矿溶液,通过旋涂工艺对有机无机杂化钙钛矿溶液进行旋涂,形成钙钛矿薄膜。所述双向阈值对称的选通器的制备方法简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 双向 阈值 对称 选通器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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