[发明专利]一种薄膜材料激光损伤的识别方法及装置在审
| 申请号： | 202110677862.8 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113447497A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 徐均琪;苏俊宏;吴慎将;时凯;汪桂霞;李阳;于淼;孙少斌;王通 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于先进光学制造与光学检测技术领域，涉及一种薄膜材料激光损伤的识别方法及装置。本发明是对薄膜施加强激光，一旦其发生损伤，导致石英晶片等效厚度发生了变化，通过测量激光辐照前后的晶片振荡周期（或频率），确定薄膜是否损伤，并采用特定的装置完成。本方法判别灵敏度高，以薄膜材料是否损失作为直接判断依据，因此不存在“误判”现象；本发明所采用的装置结构简单，集成化高，可实现在线判别，对激光损伤的判别可以在毫秒内完成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 激光 损伤 识别 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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