[发明专利]一种冷却装置在审
申请号: | 202110678826.3 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113629030A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 郑德印;王玮 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;B01L3/00;B01L7/00 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 张晓玲 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种冷却装置,其包括:上盖板,包括注液口和复合孔径薄膜,所述复合孔径薄膜在厚度方向分为纳米孔径的毛细段和微米孔径的供液段;下盖板,结合在所述上盖板下方,包括供液微结构,所述供液微结构与所述注液口和所述供液段是流体连通的。该冷却装置利用复合膜结构产生的被动式毛细压差作为供液动力,无需外接泵送系统,减小了散热系统的占用空间且降低了功耗,易于实现受限空间内的芯片散热。 | ||
搜索关键词: | 一种 冷却 装置 | ||
【主权项】:
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