[发明专利]一种监测熔体液面位置的方法、系统及计算机存储介质在审
| 申请号： | 202110679842.4 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113403680A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 李昊 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种监测熔体液面位置的方法、系统及计算机存储介质；该方法可以包括：从所述待测液面与所述石英柱底端接触开始，按照设定的单次下降距离多次下降所述待测液面后，获取所述待测液面和所述石英柱底端的距离与籽晶在所述待测液面上形成的亮环之间的像素间距离的对应关系；在单晶硅棒生长过程中，获取所述单晶硅棒的尾端在熔体液面上形成的亮环之间的实测像素间距离；基于所述实测像素间距离以及所述对应关系，确定所述熔体液面与所述石英柱的底端的实测距离；基于所述实测距离与所述石英柱底端和所述导流筒的最低点的间距，获取所述熔体液面的实测位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监测 体液 位置 方法 系统 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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