[发明专利]选通器及其制备方法在审
申请号: | 202110680038.8 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113421965A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 王晨;张卫;黄阳;唐灵芝 | 申请(专利权)人: | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
主分类号: | H01L51/10 | 分类号: | H01L51/10;H01L51/30;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 黄海霞 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种选通器,包括底电极、阻变层和顶电极。所述选通器的阻变层固定于底电极上,顶电极固定于阻变层上,底电极的组成材料为ITO导电玻璃,阻变层为钙钛矿薄膜,顶电极的组成材料为银,选通器结构简单,生产效率高,选通器开启速度快,具有较高开关比,通过简单的电场扫描刺激,可以促使银元素进入阻变层,进而提高选通器的阈值开关速度,具有稳定的双向阈值开关性能。本发明还提供了所述选通器的制备方法,包括清洗ITO导电玻璃;配制有机无机杂化钙钛矿溶液;通过旋涂工艺将有机无机杂化钙钛矿溶液旋涂于ITO导电玻璃上,形成钙钛矿薄膜;通过真空蒸发工艺在所述钙钛矿薄膜上沉积银电极。所述选通器的制备方法简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 选通器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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