[发明专利]选通器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110680038.8 申请日: 2021-06-18
公开(公告)号: CN113421965A 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 王晨;张卫;黄阳;唐灵芝 申请(专利权)人: 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司
主分类号: H01L51/10 分类号: H01L51/10;H01L51/30;H01L51/05;H01L51/40
代理公司: 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 代理人: 黄海霞
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种选通器,包括底电极、阻变层和顶电极。所述选通器的阻变层固定于底电极上,顶电极固定于阻变层上,底电极的组成材料为ITO导电玻璃,阻变层为钙钛矿薄膜,顶电极的组成材料为银,选通器结构简单,生产效率高,选通器开启速度快,具有较高开关比,通过简单的电场扫描刺激,可以促使银元素进入阻变层,进而提高选通器的阈值开关速度,具有稳定的双向阈值开关性能。本发明还提供了所述选通器的制备方法,包括清洗ITO导电玻璃;配制有机无机杂化钙钛矿溶液;通过旋涂工艺将有机无机杂化钙钛矿溶液旋涂于ITO导电玻璃上,形成钙钛矿薄膜;通过真空蒸发工艺在所述钙钛矿薄膜上沉积银电极。所述选通器的制备方法简单,成本低。
搜索关键词: 选通器 及其 制备 方法
【主权项】:
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